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智能高精度长度基准仪

智能高精度长度基准仪

  • 详细介绍

智能高精度长度基准仪


为保证在大尺寸条件下的精度,本设备采取了多项技术措施。


      本设备所有运动部件,均采用超精密加工;本设备所有电子器件,均采用世界顶级产品,本设备采用了大理石工作台,从而为设备的精度提供了基本保障。

      为避免设备在使用时,测量块受到外力作用发生微量移动而引起的尺寸变化,采用反馈控制技术,自动消除外力干预,返回到原始位置。从而消除在外力作用下引起位移带来的精度误差。

      为防止弹性变形误差,移动端的测量块和滑移端的测量块无需接触,以避免接触时,在外力的作用下发生弹性变形。系统会自动计算出两测量块的间隙并补偿。

      本设备具有自动控制激光干涉仪记数的功能:因为设备投入使用前要用激光干涉仪进行多点多点校准(点越多,校准后的精度就越高),每个点校准时,系统发出指令,控制激光干涉仪与光栅尺在系统里同时计数。

      自动生成线性修正系数:技术人员在设备校准时,可把总量程分成多点进行校正,整个分点校正过程,设备自动完成。校准完成后,可自动生成误差曲线,判断误差趋势,从而可确定每段量程的线性修正系数。

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